窒化アルミニウム基板の曲げ強度に影響を与える要因

曲げ強度に影響を与える要因窒化アルミニウム基板主に次の側面が含まれます。

製造プロセス中のパラメータと条件: 窒化アルミニウムの曲げ強度は、温度、圧力、時間などの製造中のパラメータと条件に大きく依存します。たとえば、CeramTec が発売した新しい高性能窒化アルミニウム基板 Alunit® AlN HP は、従来の基板よりも 40% 高い曲げ強度を備えていますが、これは準備プロセスの最適化と密接に関係しています。

微細構造: 窒化アルミニウムの微細構造は、その曲げ強度に大きな影響を与えます。単結晶AlNの熱伝導メカニズムはフォノン熱伝達であるため、窒化アルミニウムの熱伝導率と曲げ強度は、粒界、界面、第2相、欠陥、電子、および結晶内のフォノン自体の散乱によって制御される可能性があります。影響。欠陥や不純物が少ないほど、窒化アルミニウムの曲げ強度は高くなる可能性があります。

温度: 窒化アルミニウムの強度は温度に大きく影響されませんが、極端な温度では曲げ強度が変化する可能性があります。例えば、1300℃の温度では、窒化アルミニウムの高温強度は室温に比べて約20%低下します。ただし、窒化アルミニウムは、酸化アルミニウムや窒化ケイ素に比べて、高温における強度の低下が少ないです。

化学的性質：窒化アルミニウムが酸化し始める温度は約700℃～800℃です。窒化アルミニウム材は室温で使用した場合、酸化による曲げ強度の影響を受けにくいです。ただし、高温または特定の環境下では、窒化アルミニウムの酸化が曲げ強度に影響を与える可能性があります。

要約すると、曲げ強度に影響を与える要因は次のとおりです。窒化アルミニウム基板主に、調製プロセス中のパラメータと条件、微細構造、温度、化学的特性が含まれます。実際の応用では、特定のニーズや環境条件に応じて、製造プロセスを最適化し、微細構造を制御し、適切な温度と化学環境を選択することにより、窒化アルミニウム基板の曲げ強度を向上させることができます。