半導体製造用ALNヒーター

中国の専門メーカーとして、GREENWAY 工場の半導体製造用高品質 ALN ヒーターは、優れた熱伝導率、電気絶縁特性、高温安定性で知られる材料である窒化アルミニウムで作られた一種の発熱体です。

ALN ヒーターは、正確な温度制御と効率的な熱伝達を必要とするさまざまな用途に使用されます。

比較優位性

GREENWAY AlN の熱伝導率は約 140 ～ 180 W/mK で、他の多くのセラミック材料よりもはるかに高くなります。これにより、効率的な熱伝達と均一な温度分布が可能になります。これは優れた電気絶縁体であり、高い絶縁耐力を備えているため、電気絶縁が重要な用途に適しています。

製品パラメータ

～均一な表面温度～

よくある質問

Q1:ALNヒーターはどのように製造されているのですか？

焼結: AlN 粉末を所望の形状にプレスし、高温で焼結して固体の緻密なセラミック ヒーターを形成します。

薄膜および厚膜技術: 抵抗発熱体は薄膜または厚膜技術を使用して AlN 基板上に堆積され、正確な加熱パターンを作成します。

Q2: なぜAlNヒーターが半導体製造に使用されるのですか?

AlN ヒーターは、ウェーハ処理や薄膜堆積などの半導体製造プロセスに不可欠な、正確かつ均一な加熱を提供します。高い熱伝導性と電気絶縁性により、効率的で信頼性の高い性能が保証されます。

Q3: AlN ヒーターは特定の用途に合わせてカスタマイズできますか?

はい。 

①AlN ヒーターは、特定のアプリケーション要件を満たすためにさまざまな形状、サイズ、定格電力で製造でき、最適な性能を保証します。

②K タイプ熱電対をあらかじめ埋め込んで、閉ループの正確な温度制御を行うことができます。

③量産前の試作・テストなど小ロット対応も可能です。